Presentations -
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水熱合成法PZT薄膜による振動子を用いたアクチュエータ・センサ
第14回「電磁力関連のダイナミックス」シンポジウム 2002
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水熱合成法PZT薄膜を用いたプローブセンサの形状測定
2002年 電子情報通信学会ソサイエティ大会 2002
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PZT薄膜を用いた加振形接触センサ（第7報）－振動子の小型化による高周波化－
精密工学会 2001
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水熱合成法によるPZT薄膜を用いた振動子の大振幅駆動特性
第18回強誘電体応用会議 2001
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Resolution and sensitivity of a longitudinally vibration touch probe sensor using PZT thin film
Ultrasonics International 2001 2001
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A longitudinally vibrating touch probe sensor using PZT thin film
Int. Conf. on Solid-state Sensors & Actuators 2001
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PZT薄膜を用いた加振形接触センサ（第8報）－検出感度の振動子の高周波化による影響－
精密工学会 2001
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水熱合成法によるPZT薄膜を用いた超音波振動子における振動速度限界
電子情報通信学会ソサエティ大会 2001
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Vibration Velocity Limitation of Transducer using Hydrothermal PZT Film
IEEE Ultrasonic Symp, 2001 2001
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水熱合成法によるPZT薄膜成膜時の洗浄プロセスの改善
電気学会全国大会 2001
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PZT薄膜を用いた形状測定用縦振動プローブセンサ
第18回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム 2001
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PZT薄膜を用いた縦振動プローブ接触センサの分解能
電子情報通信学会ソサイエティ大会 2000
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Performance of Hydrothermal PZT Film on High Intensity Operation
IEEE Int. Micro Electro Mechanical Systems Conf. 2000
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PZT薄膜を用いた形状測定用接触センサの設計と評価
第21回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 2000
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PZT薄膜を用いた加振形接触センサ（第５報）－プローブセンサを用いた表面形状の測定－
精密工学会春季学術講演会 2000
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Hydrothermal PZT thin film and its application to actuators and sensors
Science and Technology of Ferroelectric Materials 2000
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PZT薄膜を用いた加振形接触センサ（第６報）－プローブセンサの分解能と測定力－
精密工学会秋季学術講演会 2000
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A flat type touch probe sensor using PZT thin film vibrator
Int. Conf. on Solid-state Sensors & Actuators 1999
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PZT薄膜を用いた加振形接触センサ（第４報）－検出感度，分解能の測定－
精密工学会秋季学術講演会 1999
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A flat type touch probe sensor using PZT film vibrator
1st international coference and general meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology 1999