Presentations -
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Simulations on laser ablation and its applications
Hiroyuki Furukawa, Tohru Kawamura, Atsushi Sunahara, *Takeshi Nishikawa, Katsunobu Nishihara, Chiyoe Yamanaka
High-Power Laser Ablation 2004
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n, l分離を含んだ新しい遮蔽水素モデル
西川亘
日本物理学会
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相変化、詳細なレーザー吸収過程を考慮したEUVプラズマ輻射流体シミュレーション
古河裕之、河村徹、砂原淳、島田義則、山浦道照、西川亘、蒲太幸平、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
応用物理学会
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輻射流体シミュレーションによるレーザー生成プラズマからのEUV放射の解析
砂原淳、西川亘、古河裕之、河村徹、蒲太幸平、西原功修、島田義則、藤岡慎介、西村博明、宮永憲明、山浦道照、内田成明、井澤靖和
応用物理学会
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EUV光源プラズマのスペクトルの構造の解析
佐々木明、西原功修、西村博明、河村徹、砂原淳、古河裕之、西川亘、小池文博、藤間一美、香川貴司、加藤隆子、R. More
日本物理学会
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自然科学の楽しさを伝えたい?岡山大学サイエンス・スクールの試み?
長屋智之、奈良重俊、*西川亘、山下信彦、稲田佳彦、味野道信、木村吉伸
電気学会教育フロンティア研究会
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Estimation of emission efficiency for laser-produced EUV-plasmas
T. Kawamura, K. Fujima, F. Koike, H. Furukawa, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, T. Kagawa, R. More, M. Murakami, V. Zhakhovskii, T. Fujimoto, H. Tanuma, K. Nishihara
SPIE 29th Annual International Symposium on Microlithography
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Theoretical simulation of extreme UV radiation source for lithography
K. Fujima, K. Nishihara, T. Kawamura, H. Furukawa, T. Kagawa, F. Koike, R. More, M. Murakami, T. Nishikawa, A. Sasaki, A. Sunahara, V. Zhakhovskii, T. Fujimoto, H. Tanuma
SPIE 29th Annual International Symposium on Microlithography
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Atomic models and hydrodynamic simulation for laser-plasma EUV source
Takeshi Nishikawa, Akira Sasaki, Hiroyuki Furukawa, Atsushi Sunahara, Katsunobu Nishihara
EUVL Source Workshop
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輻射流体コードによるEUV放射の数値シミュレーション
砂原淳、古河裕之、河村徹、西川亘、村上匡且、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
プラズマ・核融合学会年会
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レーザー生成プラズマからの極短紫外線(EUV)放射特性
西村博明他36名中25番目
プラズマ・核融合学会年会
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EUV光源開発のためのレーザーアブレーション輻射流体シミュレーション
古河裕之、河村徹、砂原淳、西川亘、藤間一美、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
プラズマ・核融合学会年会
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Simulation of the EUV spectrum of Xe and Sn plasmas
N. Miyanaga他36名のうち19番目
Progress in Understanding of Laser-Produced Plasmas for EUV Source 16th Annual Meeting of IEEE, Laser and Electro-Optics Society, (LEOS2003)
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Laser-Produced-Plasma for EUV Light Source for Lithography
K. Nishihara他36名の2番目
Ultrashort high-energy radiation and matter
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Radiation Hydrodynamic Simulation of Laser-Produced Plasma for EUVL
A. Sunahara, H. Furukawa, T. Kawamura, T. Nishikawa, M. Murakami, K. Nishihara
2nd International Extreme UltraViolet Symposium
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Japan MEXT Leading Project for Laser-Produced-Plasma EUV Light Source Development
K. Nishihara他36名の10番目
2nd International Extreme UltraViolet Symposium
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Characterization of EUV Emission from Laser Produced Low-Density Tin-oxidized plasmas
H. Nishimura他17名の17番目
2nd International Extreme UltraViolet Symposium
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Experimental Study on Basic Properties of Laser-Produced Plasma as an EUV Source on GEKKO XII
M. Nakai他24名の24番目
2nd International Extreme UltraViolet Symposium
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Evaluation of Emission Efficiency at 13.5-nm EUV Source form One-Dimensional Spherical Plasma without Lateral Heat Transport an Density Gradient
M. Yamaura他23名23番目
2nd International Extreme Ultra-Violet Lithography Symposium
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Dependence of EUV Emission Properties on Drive Laser Wavelength
M. Yamaura他23名の23番目
2nd International Extreme UltraViolet Symposium