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レーザー、放電励起EUV光源における原子過程および放電初期過程の考察
佐々木明,西原功修,砂原淳,*西川亘,小池文博,古河裕之
第70回応用物理学会学術講演会
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The atomic model of the Sn plasmas for the EUV sources International conference
Akira Sasaki, Atsushi Sunahara, Katsunobu Nishihara, Takeshi Nishikawa, Fumihiro Koike, Hajime Tanuma
14th Internationl Conference on the Physics of Highly Charged Ions
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EUV~軟X線領域のプラズマ 光源のモデリング
佐々木 明、1西原 功修、2砂原 淳、 3西川 亘、4小池 文博、2古河 裕之
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Advanced laser-produced EUV light source for HVM with conversion efficiency of 5-6% and B-field mitigation of ions (Invited Paper) International conference
Katsunobu Nishihara, 間に8名, Takeshi Nishikawa*, 後ろに7名
EUV Source II, SPIE Advance Lithography
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EUV Source Desgin Flexility for Lithography
*Nishikawa Takeshi, Sunahara Atsushi, Sasaki Akira, Nishihara Katsunobu
Fifth International Conference on Inertial Fusion Science and Applications
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Snの輻射放出・吸収係数に対する発光線波長の精度の影響
佐々木明、西原功修、砂原淳、*西川亘、小池文博、香川貴司、田沼肇
第５４回応用物理学関係連合講演会
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レーザー生成錫プラズマからの極端紫外光発生の最適化
砂原淳、西原功修、佐々木明、*西川亘、藤岡慎介、青田達也、山浦道照、島田義則、西村博明、宮永憲明、井澤靖和、三間圀興
レーザー学会学術講演会第２７回年次大会
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Detailed Modeling of Atomic Process and Radiative Transfer of the EUV Source Plasmas
Akira Sasaki, Atsushi Sunahara, Katsunobu Nishihara, *Takeshi Nishikawa, Fumihiro Koike, Takashi Kagawa, Hajime Tanuma
EUV Source Workshop
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Laser and Target Optimization for the Highest Conversion to 13.5 nm EUV Light with Laser Produced, Minimum-Mass Tin Plasma
Hiroaki Nishimura他18名11番目
5nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Radiation Hydrodynamic Simulation for LPP EUV Sources
Atsushi Sunahara他11名4番目
5nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Systematics of Atomic 4d-4f Transitions of Atomic Ions in EUVL Source Plasmas and Neighboring Atomic Numbers
Fumihiro Koike, Akira Sasaki, Katsunobu Nishihara, Atsushi Sunahara, Takeshi Nishikawa, Takashi Kagawa, Hajime Tanuma
5nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Theoretical Guidelines of LPP-EUV Sources for HVM
Katsunobu Nishihara他21名10番目
5nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Modeling of the Atomic Processes in EUVL Source Plasmas
Akira Sasaki, Katsunobu Nishihara, Atsushi Sunahara, *Takeshi Nishikawa, Fumihiro. Koike, Takashi Kagawa, Hajime Tanuma
5nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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EUV光源用Sn, Xeの詳細原子モデル
佐々木明、西原功修、砂原淳、*西川亘、小池文博、香川貴司、田沼肇
日本物理学科２００６年秋季大会
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レーザー生成プラズマからの極端紫外光発生の２次元シミュレーションII
砂原淳、西原功修、佐々木明、西川亘、青田達也、山浦道照、藤岡慎介、島田義則、西村博明、宮永憲明、井澤靖和、三間国興
第６７回応用物理学会学術講演会
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EUV光源の原子過程モデルの高精度化
佐々木明、西原功修、砂原淳、西川亘、香川貴司、小池文博、田沼肇
第６７回応用物理学会学術講演会
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Xe, Snプラズマの原子モデル改良の課題
佐々木明、西原功修、前原宏昭、砂原淳、*西川亘、小池文博、香川貴司、田沼肇
応用物理学会
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LPP EUV光源のターゲット材料としてのスズ、およびスズ化合物の理論解析
*西川亘、砂原淳、佐々木明、西原功修
応用物理学会
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レーザー生成プラズマからの極端紫外光発生の２次元放射流体シミュレーション
砂原淳、西原功修、佐々木明、*西川亘、古河裕之、前原宏昭、山浦道照、藤岡慎介、島田義則、西村博明、宮永憲明、井澤靖和、三間圀興
応用物理学会
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Analysis of the emission spectrum of Xe and Sn
A. Sasaki, K. Nishihara, F. Koike, T. Kagawa, *T. Nishikawa, A. Sunahara, H. Tanuma
SPIE microlithography 2006
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レーザープラズマによるEUVリソグラフィー用光源の開発
宮永憲明他31名30番目
レーザー学会学術講演会第２７回年次大会
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Characteristics of Emission Lines from Xe, Sn, and Other Species at EUV Region
F. Koike, K. Nishihara, A. Sunahara, H. Maehara, *T. Nishikawa, A. Sasaki, T. Kagawa, H. Tanuma
4nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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High Conversion to 13.5 nm EUV and Debris Mitigation with Mass-limited Plasmas Generated with Laser
Hiroaki Nishimura他24人14番目
4nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Progress in LPP EUV Source Development by Japan MEXT Project
Yasukazu Izawa他23人18番目
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Radiative properties of Xe and Sn plasmas
A. Sasaki, K. Nishihara, A. Sunahara, H. Maehara, *T. Nishikawa, F. Koike, T. Kagawa, H. Tanuma
4nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Theoretical Modeling and Optimization of LPP EUV Light Source
K. Nishihara他23人12番目
4nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Physics of laser-produced Li plasma EUV light source
*T. Nishikawa, A. Sunahara, A. Sasaki, K. Nishihara
4nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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EUV光源プラズマの原子モデルの特性
佐々木明、西原功修、前原宏昭、*西川亘、砂原淳、小池文博、田沼肇
日本物理学会
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時間依存の原子過程を含んだレーザーアブレーションのシミュレーション
古河裕之、佐々木明、*西川亘、西原功修、三間圀興
日本物理学会
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Xe, Snプラズマのemissivity, opacityの特性
佐々木明、西原功修、前原宏昭、砂原淳、*西川亘、小池文博、香川貴司、田沼肇
応用物理学会
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レーザー生成EUVプラズマからの高エネルギー粒子に関する考察
古河裕之、佐々木明、*西川亘、藤岡慎介、西村博明、西原功修、宮永憲明、井澤靖和、三間圀興、山中千代衛
応用物理学会
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輻射励起を考慮したレーザー生成プラズマからのEUV光発生特性
前原宏昭、西原功修、砂原淳、古河裕之、佐々木明、*西川亘
応用物理学会
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小委員会活動による教育改善活動・・・岡山大学工学部電気電子工学科
小西正躬、藤原耕二、金範錫、佐薙稔、*西川亘、石山武、野木茂次
電気学会教育フロンティア研究会
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EUV光源のターゲット材料としてのリチウムの理論解析
*西川亘、蒲田康平、古河裕之、砂原淳、佐々木明、西原功修
応用物理学会
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輻射流体シミュレーションによるレーザー生成プラズマからの極端紫外光放射特性解析
砂原淳、西原功修、蒲田幸平、前原宏昭、佐々木明、*西川亘、古河裕之、島田義則、山浦道照、陶業争、内田成明、藤岡慎介、西村博明、宮永憲明、井澤靖和
応用物理学会
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詳細原子モデルによるXe, Snプラズマのemissivity, opacity
佐々木明、西原功修、蒲田幸平、砂原淳、*西川亘、小池文博、香川貴司、田沼肇
応用物理学会
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種々のターゲット物質のEUV変換効率と輻射輸送
蒲田幸平、西原功修、砂原淳、古河裕之、佐々木明、*西川亘、河村徹
応用物理学会
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LPP-UEV光における輻射励起・電離の効果
前原宏昭、西原功修、蒲田幸平、砂原淳、古河裕之、佐々木明、*西川亘
応用物理学会
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LPP-EUV光源から発生する光速イオンの速度分布モデルリング
村上匡且、姜永光、西原功修、西村博明、藤岡慎介、陶業争、山浦道照、長井圭治、内田成明、宮永憲明、砂原淳、*西川亘、佐々木明、井澤靖和
応用物理学会
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レーザー生成EUV Xeプラズマからの高エネルギー粒子に関する考察
古河裕之、河村徹、*西川亘、佐々木明、藤間一美、藤岡慎介、西村博明、西原功修、宮永憲明、井澤靖和、山中千代衛
応用物理学会
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EUV放射プラズマのオパシティー構造と放射効率の関係
藤岡慎介、西村博明、奥野智晴、島田義則、橋本和久、一木理史、重森啓介、中井光男、陶業争、上田修義、安藤強史、谷勤翠、長井圭治、乗松孝好、佐々木明、*西川亘、砂原淳、西原功修、宮永憲明、井澤靖和田沼肇
日本物理学会
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EUV光源用Xe, Snプラズマの原子過程モデリング
佐々木明、西原功修、蒲田幸平、*西川亘、砂原淳、小池文博、香川貴司、田沼肇
日本物理学会
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Estiamtions on high energy ions and neutral particles from LPP EUV light sources
H. Furukawa, T. Kawamura, *T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Fujima, S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, C. Yamanaka
SPIE 30th Annual International Symposium on Microlithography
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Modeling of the atomic processes in the laser-plamsa EUV sources
A. Sasaki, K. Nishihaar, F. Koike, K. Kagawa, H. Tanuma, A. Sunahara, K. Gamada, *T. Nishikawa
SPIE 30th Annual International Symposium on Microlithography
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EUV light source design by Li target LPP
*T. Nishikawa, K. Gamada, K. Nishihara
EUVL Source Workshop
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レーザー生成スズプラズマからのEUV光発生の放射流体シミュレーション
砂原淳、西原功修、蒲田幸平、*西川亘、佐々木明、古河裕之、島田義則、山浦道照、内田成明、藤岡慎介、西村博明、宮永憲明、井澤靖和
プラズマ・核融合学会第２１回年会
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新しい遮蔽水素モデルを用いたEUV放射プラズマの原子過程モデル
*西川亘、佐々木明、砂原淳、古河裕之、西原功修
プラズマ・核融合学会第２１回年会
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Modeling of LPP EUV Light Source at Japan MEXT Leading Project
K. Nishihara他21名11番目
3nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Atomic models for radiation transport in laser plasma hydrodynamic simulation of EUV light source
*Takeshi Nishikawa, Akira Sasaki, Hiroyuki Furukawa, Atsushi Sunahara, and Katsunobu Nishihara
3nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Experimental Database of LPP EUV Sources at ILE and ILT
N. Miyanaga他28人27番目
3nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Numerical Analysis of Extreme Ultra-Violet Emission from Laser-Produced Tin Plasmas
Atsushi Sunahara他14人3番目
3nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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The Role of Interference and Correlations in 13.5 nm Radiations of Sn and Xe Atomic Ions -- For Precise and Accurate Determination of Sprctral
F. Koike, K. Nishihara, A. Sasaki, T. Kagawa, *T. Nishikawa, K. Fujima, T. Kawamura, and H. Furukawa
3nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Atomic Data for Laser Produced Plasma Extreme Ultra Violet Light Source
K. Nishihara他21人11番目
Joint Meeting 14th International Toki Conference on Plasma Physics and Controlled Nuclear Fusion 4th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications
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Precise and Accurate Calculations of Electronic Transitions in Heavy Atomic Ions Relevant to Extreme Ultra-Violet Light Sources
F. Koike, K. Nishihara, A. Sasaki, T. Kagawa, *T. Nishikawa, K. Fujima, T. Kawamura, H. Furukawa
Joint Meeting 14th International Toki Conference on Plasma Physics and Controlled Nuclear Fusion 4th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications
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EUV光源プラズマの原子過程モデルと流体シミュレーション
*西川亘、砂原淳、佐々木明、古河裕之、西原功修
日本物理学会
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Interference effects in correlated transitions of heavy atomic ions
F. Koike, K. Nishihara, A. Sasaki, T. Kagawa, *T. Nishikawa, K. Fujima, T. Kawamura, H. Furukawa
12th International Conference on the Physics of Highly Charged Ions
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パワーバランス解析モデルを用いたEUV2%BWへの変換効率の考察
蒲田幸平、西原功修、砂原淳、古河裕之、佐々木明、*西川亘、河村徹
応用物理学会
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EUV光源プラズマ流体シミュレーションのための原子過程モデルとデータセット
*西川亘、佐々木明、古河裕之、砂原淳、西原功修
応用物理学会
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輻射流体シミュレーションによるEUV放射の波長依存性の解析
砂原淳、西原功修、*西川亘、佐々木明、古河裕之、蒲田幸平、山浦道照、藤岡慎介、島田義則、内田成明、橋本和久、西村博明、井澤靖和
応用物理学会
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Xe,Snプラズマの詳細原子モデル
佐々木明、西原功修、砂原淳、*西川亘
応用物理学会
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Simulations on laser ablation and its applications
Hiroyuki Furukawa, Tohru Kawamura, Atsushi Sunahara, *Takeshi Nishikawa, Katsunobu Nishihara, Chiyoe Yamanaka
High-Power Laser Ablation 2004
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n, l分離を含んだ新しい遮蔽水素モデル
西川亘
日本物理学会
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相変化、詳細なレーザー吸収過程を考慮したEUVプラズマ輻射流体シミュレーション
古河裕之、河村徹、砂原淳、島田義則、山浦道照、西川亘、蒲太幸平、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
応用物理学会
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輻射流体シミュレーションによるレーザー生成プラズマからのEUV放射の解析
砂原淳、西川亘、古河裕之、河村徹、蒲太幸平、西原功修、島田義則、藤岡慎介、西村博明、宮永憲明、山浦道照、内田成明、井澤靖和
応用物理学会
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EUV光源プラズマのスペクトルの構造の解析
佐々木明、西原功修、西村博明、河村徹、砂原淳、古河裕之、西川亘、小池文博、藤間一美、香川貴司、加藤隆子、R. More
日本物理学会
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自然科学の楽しさを伝えたい?岡山大学サイエンス・スクールの試み?
長屋智之、奈良重俊、*西川亘、山下信彦、稲田佳彦、味野道信、木村吉伸
電気学会教育フロンティア研究会
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Estimation of emission efficiency for laser-produced EUV-plasmas
T. Kawamura, K. Fujima, F. Koike, H. Furukawa, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, T. Kagawa, R. More, M. Murakami, V. Zhakhovskii, T. Fujimoto, H. Tanuma, K. Nishihara
SPIE 29th Annual International Symposium on Microlithography
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Theoretical simulation of extreme UV radiation source for lithography
K. Fujima, K. Nishihara, T. Kawamura, H. Furukawa, T. Kagawa, F. Koike, R. More, M. Murakami, T. Nishikawa, A. Sasaki, A. Sunahara, V. Zhakhovskii, T. Fujimoto, H. Tanuma
SPIE 29th Annual International Symposium on Microlithography
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Atomic models and hydrodynamic simulation for laser-plasma EUV source
Takeshi Nishikawa, Akira Sasaki, Hiroyuki Furukawa, Atsushi Sunahara, Katsunobu Nishihara
EUVL Source Workshop
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輻射流体コードによるEUV放射の数値シミュレーション
砂原淳、古河裕之、河村徹、西川亘、村上匡且、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
プラズマ・核融合学会年会
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レーザー生成プラズマからの極短紫外線(EUV)放射特性
西村博明他36名中25番目
プラズマ・核融合学会年会
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EUV光源開発のためのレーザーアブレーション輻射流体シミュレーション
古河裕之、河村徹、砂原淳、西川亘、藤間一美、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
プラズマ・核融合学会年会
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Simulation of the EUV spectrum of Xe and Sn plasmas
N. Miyanaga他36名のうち19番目
Progress in Understanding of Laser-Produced Plasmas for EUV Source 16th Annual Meeting of IEEE, Laser and Electro-Optics Society, (LEOS2003)
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Laser-Produced-Plasma for EUV Light Source for Lithography
K. Nishihara他36名の2番目
Ultrashort high-energy radiation and matter
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Radiation Hydrodynamic Simulation of Laser-Produced Plasma for EUVL
A. Sunahara, H. Furukawa, T. Kawamura, T. Nishikawa, M. Murakami, K. Nishihara
2nd International Extreme UltraViolet Symposium
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Japan MEXT Leading Project for Laser-Produced-Plasma EUV Light Source Development
K. Nishihara他36名の10番目
2nd International Extreme UltraViolet Symposium
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Characterization of EUV Emission from Laser Produced Low-Density Tin-oxidized plasmas
H. Nishimura他17名の17番目
2nd International Extreme UltraViolet Symposium
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Experimental Study on Basic Properties of Laser-Produced Plasma as an EUV Source on GEKKO XII
M. Nakai他24名の24番目
2nd International Extreme UltraViolet Symposium
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Evaluation of Emission Efficiency at 13.5-nm EUV Source form One-Dimensional Spherical Plasma without Lateral Heat Transport an Density Gradient
M. Yamaura他23名23番目
2nd International Extreme Ultra-Violet Lithography Symposium
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Dependence of EUV Emission Properties on Drive Laser Wavelength
M. Yamaura他23名の23番目
2nd International Extreme UltraViolet Symposium
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EUV光源開発のためのレーザーアブレーション輻射流体シミュレーション
古河裕之、河村徹、砂原淳、西川亘、藤間一美、佐々木明、村上匡且、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
応用物理学会
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EUV光源プラズマ流体シミュレーションのための簡便な平均イオンモデル
西川亘、古河裕之、砂原淳、西原功修
応用物理学会
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Theoretical Modeling of Laser-Produced Plasma for Development of Extreme UV Radiation Source for Lithography
K. Nishihara, *T. Nishikawa, A. Sasaki, T. Kawamura, A. Sunahara, H. Furukawa, M. Murakami, R. More, K. Fujima, F. Koike, T. Kagawa, V. Zhakhovskii, T. Kato, H. Tanuma, H. Nishimura, M. Nakai, 他20名
International Conference of Fusion Science 2003
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岡山大学電気電子工学科における実験科目への取り組み?物理学実験?
小笠原悟司、藤原耕二、鶴田健二、佐薙稔、山下善文、石山武、西竜志、*西川亘、東辻千枝子、宮城大輔、小松原均、中野正典、安原清隆
電気学会教育フロンティア研究会資料FIE-03-13
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EUV光源開発のためのXeイオンのエネルギー準位の評価
古河裕之、香川貴司、小池文博、佐々木明、藤間一美、西川亘、More Richard、西原功修
第５０回応用物理学関係連合講演会
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XeプラズマのEUVスペクトルの理論解析
佐々木明、西原功修、西村博明、古河裕之、西川亘、藤間一美、More Richard、小池文博、香川貴司
第５０回応用物理学関係連合講演会
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水熱量計を用いた交流電力測定の学生実験
西川亘、数乗有、八田和道、藤田英明
日本物理学会
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イオンポテンシャルを考慮したプラズマ中自由電子の状態密度II
西川亘、数乗有、八田和道、藤田英明
日本物理学会
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イオンポテンシャルを考慮したプラズマ中自由電子の状態密度
西川 亘
日本物理学会
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Simple atomic model based on the plasma microfield
Takeshi NISHIKAWA
Second International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications
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Novel Laboratory Fusion Sources
T. Kenmotsu*, T. Nishikawa, R. More* *核融合科学研究所
Second International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications
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水熱量計を用いた交流電力測定の学生実験
西川亘、数乗有、八田和道、藤田英明
電気・情報関連学会中国支部第５２回連合大会講演論文集
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半古典近似を用いた原子モデルII
西川 亘
日本物理学会
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半古典近似を用いた原子モデ
西川 亘
日本物理学会
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プラズマ効果の原子素過程への要素還元
西川 亘
日本物理学会
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シュタルク効果に基づく高励起状態数の計算
西川亘
日本物理学会