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レーザープラズマによるEUVリソグラフィー用光源の開発
宮永憲明他31名30番目
レーザー学会学術講演会第２７回年次大会
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Characteristics of Emission Lines from Xe, Sn, and Other Species at EUV Region
F. Koike, K. Nishihara, A. Sunahara, H. Maehara, *T. Nishikawa, A. Sasaki, T. Kagawa, H. Tanuma
4nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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High Conversion to 13.5 nm EUV and Debris Mitigation with Mass-limited Plasmas Generated with Laser
Hiroaki Nishimura他24人14番目
4nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Progress in LPP EUV Source Development by Japan MEXT Project
Yasukazu Izawa他23人18番目
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Radiative properties of Xe and Sn plasmas
A. Sasaki, K. Nishihara, A. Sunahara, H. Maehara, *T. Nishikawa, F. Koike, T. Kagawa, H. Tanuma
4nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Theoretical Modeling and Optimization of LPP EUV Light Source
K. Nishihara他23人12番目
4nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Physics of laser-produced Li plasma EUV light source
*T. Nishikawa, A. Sunahara, A. Sasaki, K. Nishihara
4nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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EUV光源プラズマの原子モデルの特性
佐々木明、西原功修、前原宏昭、*西川亘、砂原淳、小池文博、田沼肇
日本物理学会
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時間依存の原子過程を含んだレーザーアブレーションのシミュレーション
古河裕之、佐々木明、*西川亘、西原功修、三間圀興
日本物理学会
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Xe, Snプラズマのemissivity, opacityの特性
佐々木明、西原功修、前原宏昭、砂原淳、*西川亘、小池文博、香川貴司、田沼肇
応用物理学会
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レーザー生成EUVプラズマからの高エネルギー粒子に関する考察
古河裕之、佐々木明、*西川亘、藤岡慎介、西村博明、西原功修、宮永憲明、井澤靖和、三間圀興、山中千代衛
応用物理学会
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輻射励起を考慮したレーザー生成プラズマからのEUV光発生特性
前原宏昭、西原功修、砂原淳、古河裕之、佐々木明、*西川亘
応用物理学会
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小委員会活動による教育改善活動・・・岡山大学工学部電気電子工学科
小西正躬、藤原耕二、金範錫、佐薙稔、*西川亘、石山武、野木茂次
電気学会教育フロンティア研究会
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EUV光源のターゲット材料としてのリチウムの理論解析
*西川亘、蒲田康平、古河裕之、砂原淳、佐々木明、西原功修
応用物理学会
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輻射流体シミュレーションによるレーザー生成プラズマからの極端紫外光放射特性解析
砂原淳、西原功修、蒲田幸平、前原宏昭、佐々木明、*西川亘、古河裕之、島田義則、山浦道照、陶業争、内田成明、藤岡慎介、西村博明、宮永憲明、井澤靖和
応用物理学会
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詳細原子モデルによるXe, Snプラズマのemissivity, opacity
佐々木明、西原功修、蒲田幸平、砂原淳、*西川亘、小池文博、香川貴司、田沼肇
応用物理学会
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種々のターゲット物質のEUV変換効率と輻射輸送
蒲田幸平、西原功修、砂原淳、古河裕之、佐々木明、*西川亘、河村徹
応用物理学会
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LPP-UEV光における輻射励起・電離の効果
前原宏昭、西原功修、蒲田幸平、砂原淳、古河裕之、佐々木明、*西川亘
応用物理学会
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LPP-EUV光源から発生する光速イオンの速度分布モデルリング
村上匡且、姜永光、西原功修、西村博明、藤岡慎介、陶業争、山浦道照、長井圭治、内田成明、宮永憲明、砂原淳、*西川亘、佐々木明、井澤靖和
応用物理学会
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レーザー生成EUV Xeプラズマからの高エネルギー粒子に関する考察
古河裕之、河村徹、*西川亘、佐々木明、藤間一美、藤岡慎介、西村博明、西原功修、宮永憲明、井澤靖和、山中千代衛
応用物理学会