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EUV放射プラズマのオパシティー構造と放射効率の関係
藤岡慎介、西村博明、奥野智晴、島田義則、橋本和久、一木理史、重森啓介、中井光男、陶業争、上田修義、安藤強史、谷勤翠、長井圭治、乗松孝好、佐々木明、*西川亘、砂原淳、西原功修、宮永憲明、井澤靖和田沼肇
日本物理学会
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EUV光源用Xe, Snプラズマの原子過程モデリング
佐々木明、西原功修、蒲田幸平、*西川亘、砂原淳、小池文博、香川貴司、田沼肇
日本物理学会
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Estiamtions on high energy ions and neutral particles from LPP EUV light sources
H. Furukawa, T. Kawamura, *T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Fujima, S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, C. Yamanaka
SPIE 30th Annual International Symposium on Microlithography
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Modeling of the atomic processes in the laser-plamsa EUV sources
A. Sasaki, K. Nishihaar, F. Koike, K. Kagawa, H. Tanuma, A. Sunahara, K. Gamada, *T. Nishikawa
SPIE 30th Annual International Symposium on Microlithography
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EUV light source design by Li target LPP
*T. Nishikawa, K. Gamada, K. Nishihara
EUVL Source Workshop
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レーザー生成スズプラズマからのEUV光発生の放射流体シミュレーション
砂原淳、西原功修、蒲田幸平、*西川亘、佐々木明、古河裕之、島田義則、山浦道照、内田成明、藤岡慎介、西村博明、宮永憲明、井澤靖和
プラズマ・核融合学会第２１回年会
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新しい遮蔽水素モデルを用いたEUV放射プラズマの原子過程モデル
*西川亘、佐々木明、砂原淳、古河裕之、西原功修
プラズマ・核融合学会第２１回年会
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Modeling of LPP EUV Light Source at Japan MEXT Leading Project
K. Nishihara他21名11番目
3nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Atomic models for radiation transport in laser plasma hydrodynamic simulation of EUV light source
*Takeshi Nishikawa, Akira Sasaki, Hiroyuki Furukawa, Atsushi Sunahara, and Katsunobu Nishihara
3nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Experimental Database of LPP EUV Sources at ILE and ILT
N. Miyanaga他28人27番目
3nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Numerical Analysis of Extreme Ultra-Violet Emission from Laser-Produced Tin Plasmas
Atsushi Sunahara他14人3番目
3nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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The Role of Interference and Correlations in 13.5 nm Radiations of Sn and Xe Atomic Ions -- For Precise and Accurate Determination of Sprctral
F. Koike, K. Nishihara, A. Sasaki, T. Kagawa, *T. Nishikawa, K. Fujima, T. Kawamura, and H. Furukawa
3nd International Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) Symposium
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Atomic Data for Laser Produced Plasma Extreme Ultra Violet Light Source
K. Nishihara他21人11番目
Joint Meeting 14th International Toki Conference on Plasma Physics and Controlled Nuclear Fusion 4th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications
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Precise and Accurate Calculations of Electronic Transitions in Heavy Atomic Ions Relevant to Extreme Ultra-Violet Light Sources
F. Koike, K. Nishihara, A. Sasaki, T. Kagawa, *T. Nishikawa, K. Fujima, T. Kawamura, H. Furukawa
Joint Meeting 14th International Toki Conference on Plasma Physics and Controlled Nuclear Fusion 4th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications
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EUV光源プラズマの原子過程モデルと流体シミュレーション
*西川亘、砂原淳、佐々木明、古河裕之、西原功修
日本物理学会
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Interference effects in correlated transitions of heavy atomic ions
F. Koike, K. Nishihara, A. Sasaki, T. Kagawa, *T. Nishikawa, K. Fujima, T. Kawamura, H. Furukawa
12th International Conference on the Physics of Highly Charged Ions
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パワーバランス解析モデルを用いたEUV2%BWへの変換効率の考察
蒲田幸平、西原功修、砂原淳、古河裕之、佐々木明、*西川亘、河村徹
応用物理学会
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EUV光源プラズマ流体シミュレーションのための原子過程モデルとデータセット
*西川亘、佐々木明、古河裕之、砂原淳、西原功修
応用物理学会
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輻射流体シミュレーションによるEUV放射の波長依存性の解析
砂原淳、西原功修、*西川亘、佐々木明、古河裕之、蒲田幸平、山浦道照、藤岡慎介、島田義則、内田成明、橋本和久、西村博明、井澤靖和
応用物理学会
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Xe,Snプラズマの詳細原子モデル
佐々木明、西原功修、砂原淳、*西川亘
応用物理学会