研究者詳細 - 神田　岳文

MISC - 神田　岳文

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ゴム・フィルムによるソフトアクチュエータとその周辺技術に関する研究

脇元修一, 山口大介, 神田岳文

油空圧技術 63 ( 13 ) 24 - 28 2024年12月

極低温環境用アクチュエータの駆動を目的とした超音波振動子

神田岳文, 山口大介

日本音響学会誌 80 ( 2 ) 74 - 80 2024年1月

極低温環境における物体の浮上実験＝極低温環境での超音波振動子による非接触駆動を目標として＝

神田岳文

超音波テクノ 34 ( 5 ) 63 - 66 2022年10月

圧電振動子を駆動源とする微粒子励振型三方弁の試作

神田岳文

機素潤滑設計部門ニュースレター ( 38 ) 6 2019年7月

圧電アクチュエータの特殊環境応用

神田岳文

日本ロボット学会誌 36 ( 4 ) 19 - 22 2018年

マイクロ流路を用いた超音波振動によるエマルション生成条件の検討 (超音波)

神田岳文, 大西健一, 木山雄介, 鈴森康一, 小野努, 大河原賢一, 檜垣和孝

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 117 ( 155 ) 37 - 40 2017年7月

マイクロ流路内液滴分級デバイスの検討

神田岳文

超音波テクノ 29 ( 6 ) 52 - 56 2017年

圧電高分子キャビテーション検出センサによるエマルション生成デバイスの評価

神田岳文

超音波テクノ 29 ( 4 ) 91 - 95 2017年

マイクロ流路と超音波振動を利用したエマルション生成デバイス

神田岳文

ケミカルエンジニアリング 60 ( 2 ) 142 - 147 2015年

特殊環境下用超音波モータの開発

山口大介, 神田岳文

超音波テクノ 27 ( 5 ) 10 - 12 2015年

圧電単結晶基板を用いた極低温用超音波モータ

神田岳文, 山口大介

超音波テクノ 26 ( 2 ) 44 - 47 2014年

極低温下で動作する超音波モータ

神田岳文

超音波テクノ 26 ( 2 ) 76 - 79 2014年

マイクロ流路を用いたエマルション生成用超音波デバイスの検討

神田岳文

超音波テクノ 25 ( 4 ) 72 - 76 2013年

PMN‐PT単結晶を用いた超音波モータの極低温環境における特性評価

山口大介, 神田岳文, 鈴森康一, 武田大, 黒田雅貴

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2012 ROMBUNNO.O01 2012年3月

ボルト締めランジュバン型振動子を用いた極低温用超音波モータ

山口大介, 神田岳文, 鈴森康一

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2011 ROMBUNNO.M15 2011年3月

積層型超音波振動マイクロ流路デバイスによるエマルション生成

神田岳文, 富永宜幸, 原田拓也, 鈴森康一, 小野努, 岩渕草太郎, 伊東一行, 大河原賢一, 檜垣和孝, 吉澤雄太

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2011 ROMBUNNO.M18 2011年3月

会員企業を訪ねて第3回株式会社化繊ノズル製作所“直径数μmの超微細孔，一品一芸の融合で究極のものづくり”

山口大介, 神田岳文

精密工学会ホームーページ 2011年

超音波振動とマイクロ流路を用いたエマルション生成デバイス

神田岳文

超音波テクノ 23 ( 1 ) 52 - 55 2011年

微小孔板とねじり振動子による液滴生成

神田岳文

超音波テクノ 23 ( 1 ) 48 - 51 2011年

ワイヤ放電加工面への水熱合成法によるPZT薄膜の成膜

上野雅裕, 神田岳文, 鈴森康一, 道廣善彦, 妹尾典久

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2010 ROMBUNNO.M44 2010年9月

水熱合成法PLZT薄膜を用いた光駆動アクチュエータの特性評価

殿界明真, 神田岳文, 鈴森康一, 山口大介

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2010 ROMBUNNO.F03 2010年3月

マイクロ流路の超音波励振によるエマルション生成

神田岳文, 原田拓也, 鈴森康一, 小野努, 岩渕草太郎, 伊東一行, 大河原賢一, 檜垣和孝

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2010 ROMBUNNO.F26 2010年3月

円筒型マイクロ超音波モータとその強磁場環境応用

神田岳文

科学と工業 84 ( 6 ) 239 - 244 2010年

円筒型超音波モータの特殊環境応用－強磁場環境下での回転駆動への応用－

神田岳文

超音波テクノ 22 ( 1 ) 72 - 75 2010年

円筒型超音波モータの強磁場環境下への応用

前田拓, 小林昭仁, 神田岳文, 鈴森康一, 竹腰清乃理, 水野敬

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2009 I17 2009年2月

超音波攪拌機構を用いた水熱合成法によるPZT薄膜の成膜

神田岳文

超音波テクノ 21 ( 6 ) 35 - 37 2009年

微小孔板とねじり振動子によるエマルション生成

神田岳文, 富永宜幸, 原田拓也, 鈴森康一, 山田嘉昭

信学技報 109 ( 213 ) 41 - 46 2009年

超音波振動攪拌機構を用いた水熱合成法によるPZT圧電薄膜の成膜

道廣善彦, 甲昌男, 神田岳文, 鈴森康一

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2008 ROMBUNNO.L32 2008年9月

科研費特定領域研究における研究紹介－ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究－

神田岳文

超音波テクノ 20 ( 1 ) 44 - 47 2008年

円筒型マイクロ超音波モータの駆動特性の解析と評価

小林昭仁, 神田岳文, 鈴森康一

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2007 J46 2007年9月

超音波振動攪拌機構を用いた水熱合成法によるPZT薄膜アクチュエータ

甲昌男, 神田岳文, 鈴森康一

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2007 J66 2007年9月

扇形圧電振動子駆動薄型マイクロ超音波モータ

市原誉識, 松永佑介, 神田岳文, 鈴森康一

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2007 J47 2007年9月

微小孔板の超音波振動を利用した液滴の生成実験

神田岳文

超音波テクノ 19 ( 6 ) 47 - 49 2007年

小型圧電振動子を用いた円筒型マイクロ超音波モータ

神田岳文

化学工業 58 ( 8 ) 595 - 598 2007年

2310 円筒型マイクロ超音波モータの駆動特性評価(OS8-3 アクチュエータシステム(3))

小林昭仁, 神田岳文, 鈴森康一

機素潤滑設計部門講演会講演論文集 2006 ( 6 ) 279 - 280 2006年5月

記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

The aim of this research is to evaluate the driving performance of a micro ultrasonic motor, 1.8mm in casing diameter. The micro ultrasonic motor is driven by a cylindrical piezoelectric vibrator, 0.8mm in diameter. A laser surface velocimeter, an electric balance and an xyz micro stage were used for the evaluation of the relationship between the preload, the revolution speed, and the applied voltage. By using another vibration mode which had a contact with outer edge of vibrator, lager output torque was obtained. When the frequency was 314.5kHz, the applied voltage was 35V_<P-P> and the preload was 2.0mN, the maximum revolution speed was 9.1×10^3rpm and starting torque was 5.5μNm.

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2303 マイクロリアクタ用三方弁の開発とスラグ流の実施(OS8-1 アクチュエータシステム(1))

門脇信傑, 浅尾文善, 鈴森康一, 神田岳文

機素潤滑設計部門講演会講演論文集 2006 ( 6 ) 261 - 262 2006年5月

記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

We have developed three port electromagnetic valve for micro reactor. This study aims at integrating the micro three port valve into micro reactor or several micro flow control systems. For that purpose we developed the micro three port valve with actuator mechanism. Electromagnetic actuators have big power in millimeter scale in general, and achieve high response speed. We designed and manufactured micro three port valve which has a moving part of magnet. We applied the developed valve to make slug flow (two-phase flow) by pouring two liquid into this valve's ports to realize efficient promoting chemical reaction.

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2315 3室マイクロ空圧ワブルモータの開発(OS8-4 アクチュエータシステム(4))

岡本清秀, 鈴森康一, 神田岳文, 山田嘉昭

機素潤滑設計部門講演会講演論文集 2006 ( 6 ) 295 - 297 2006年5月

記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

The development of miniature high torque motors is essential for the realization of miniature robots which require large driving force. This is the background of this research to develop pneumatic wobble motor, which is high torque stepping motor with reduction function. Pneumatic wobble motor consists of a donut-shaped wobble generator, which is made of silicone rubber, a wobble ring, which is made of metal, and a rotor. The rotor is encased in the wobble ring, which is covered by the wobble generator. The wobble generator has three chambers and injecting air rotate. Authors had developed a six-chamber φ 10mm pneumatic wobble motor and six-chamber 6.7mm. In this study, the pneumatic wobble motor is miniaturized to φ 6mm by applying fine processing technology. Besides the number of pneumatic chambers are decreased from 6 to 3.

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圧電性高分子を用いたフレキシブルセンサ作成プロセス（ソフトアクチュエータ用センサ作成プロセス）

神田岳文, 鈴森康一

油空圧技術増刊号生活を支援するフルードパワー 45巻,11号,57-62ページ 2006年

611 マイクロ超音波モータ用振動子の小型化と評価

松永佑介, 神田岳文, 大森啓登, 鈴森康一

Dynamics & Design Conference 2005 "611 - 1"-"611-4" 2005年8月

記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

In this paper, an evaluation of transducer for a micro ultrasonic motor is introduced. The motor is a traveling wave type ultrasonic motor driven by the cylindrical shaped bulk piezoelectric vibrator, a diameter of 0.8 mm and 2.2 mm. The dimensions of the motor were 1.8 mm of diameter and 5.8 mm of height. We have fabricated the transducer, the vibrator for the driving of motor, and evaluated its characteristics.

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2A1-N-085 マイクロリニアポンプの開発 : 第1報:設計・試作と特性評価(MEMSとナノテクノロジー1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

鈴森康一, 古澤宏明, 神田岳文, 山田嘉昭, 永田卓志

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 151 - 151 2005年6月

1P2-S-079 大腸内視鏡誘導薄肉bubblerアクチュエータの試作・評価(アクチュエータの機構と制御3,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

濱隆行, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 136 - 136 2005年6月

1P2-S-080 細径McKibben型筋繊維バンドルによる人工筋の開発(アクチュエータの機構と制御3,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

鈴森康一, 武田淳吾, 脇元修一, 神田岳文, 楠本浩二

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 136 - 136 2005年6月

2A1-N-088 アクティブ触媒システムの研究 : 第2報:粒子攪拌によるアセトアルデヒド分解実験(MEMSとナノテクノロジー1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

永田卓志, 鈴森康一, 神田岳文, 阪田祐作, 武藤明徳

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 152 - 152 2005年6月

2A1-N-087 SMAマイクロバルブの開発 : 第一報:設計・試作と特性評価(MEMSとナノテクノロジー1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

鈴森康一, 浅尾文善, 神田岳文, 山田嘉昭

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 152 - 152 2005年6月

2P1-N-110 大腸内視鏡誘導薄肉ゴムチューブアクチュエータの実験的評価(医療福祉ロボティクス・メカトロニクス4,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

濱隆行, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 200 - 200 2005年6月

2A1-S-081 一体型圧電薄膜アクチュエータを用いたマイクロ走査機構(アクチュエータの機構と制御4,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

浮田貴宏, 神田岳文, 鈴森康一

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 181 - 181 2005年6月

2A1-S-083 微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ : 第3報:ロータの改良と小型化したモータの特性評価(アクチュエータの機構と制御4,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

大森啓登, 神田岳文, 鈴森康一, 牧野明

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 181 - 181 2005年6月

1A1-S-094 高圧油圧アクチュエータを用いたジャッキアップレスキューロボットの研究 : 第2報:走行性能向上とフィールド試験(レスキューシステム・レスキュー工学1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

田中淳一, 盛真唯子, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 51 - 51 2005年6月

1A1-S-095 レスキュー作業用アドバンストカッターの開発(レスキューシステム・レスキュー工学1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

田中淳一, 盛真唯子, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 51 - 51 2005年6月

2A1-S-082 ディスク型圧電セラミックス振動子を用いたマイクロ超音波モータの研究 : 第1報:ステータの設計と解析(アクチュエータの機構と制御4,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

松永佑介, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 181 - 181 2005年6月

2P1-S-081 インジェクションシステムを用いた柔軟変位センサの作製とFMAへの応用(アクチュエータの機構と制御5,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

久禮健司, 神田岳文, 鈴森康一, 脇元修一

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 223 - 223 2005年6月

2A1-N-086 交互流発生ロータリーマイクロリアクタの開発 : 第1報:第1次試作と特性評価(MEMSとナノテクノロジー1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

鈴森康一, 古澤宏明, 神田岳文, 山田嘉昭, 阪田祐作, 武藤明徳

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 152 - 152 2005年6月

1P1-N-039 フィジカルマンマシンインタラクションを実現するアクティブマウスの開発 : 第3報:アクティブマウス用全方向移動新機構の開発(ハプティックインタフェース1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

越智淳平, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 55 - 55 2005年6月

1A1-N-069 水中ロボット用柔軟機能性胸びれアクチュエータの開発 : 第1報抗力型パッシブ胸びれの試作(バイオメカトロニクス/ミメティクス1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

遠藤聡, 鈴森康一, 神田岳文, 加藤直三, 鈴木博善, 安藤義人

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 20 - 20 2005年6月

1A1-S-080 管径適応型管内移動ロボットの研究 : 第6報:インテリジェントサーボアクチュエータの管内移動ロボットへの適用と走行実験(アクチュエータの機構と制御1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

辻野広大, 中嶌準, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 49 - 49 2005年6月

1A1-N-101 フィジカルマンマシンインタラクション用アクティブ多面体の研究 : 第6報:6軸センサシステムによるアクティブ多面体の入力点拡張(変形と力覚,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

越智淳平, 小川浩史, 小坂一祥, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 28 - 28 2005年6月

1A1-N-058 MEMS加速度・ジャイロセンサの集積による6軸ポインタの開発 : センサシステムの構築と適用実験(VRとインタフェース,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

小川浩史, 越智淳平, 小坂一祥, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 18 - 18 2005年6月

1A1-S-079 自転車用空圧トランスミッションの開発 : 第3報:エネルギー回生とフィールド走行実験(アクチュエータの機構と制御1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)

溝上博則, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2005 49 - 49 2005年6月

円筒型圧電振動子を用いたマイクロ超音波モータ

神田岳文

超音波テクノ 17巻,6号,pp.54-58 2005年

名物研究者から未来の研究者へのメッセージ第22回岡山大学大学院自然科学研究科鈴森康一教授査読

鈴森康一, 神田岳文, 脇元修一

ロボコンマガジン 39巻,pp.62-64 2005年

ニューテーションモータの開発 (第6報)

岡本, 鈴森康一, 神田岳文, 榎本勇生, 宇塚和夫

日本機械学会ロボティクスメカトロニクス講演会, 2005 24 - 24 2005年

大腸内視鏡誘導薄肉ゴムチューブアクチュエータの試作研究

浜隆行, 鈴森康一, 神田岳文

自動制御連合講演会講演論文集 47th ( CD-ROM ) ROMBUNNO.621 2004年11月

自転車用空圧トランスミッションの開発 : 第2報 : ステップペダルの開発と走行実験(アクチュエータの機構と制御2)

福本剛之, 武田淳吾, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2004 149 - 149 2004年6月

管径適応型管内移動ロボットの研究 : 第4報 : インテリジェントアクチュエータの開発と第3号機への適応(特殊移動ロボット2)

辻野広大, 中嶌準, 越智淳平, 鈴森康一, 神田岳文, 脇元修一

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2004 145 - 146 2004年6月

インテリジェントシリンダの開発 : 第1報 : インテリジェントシリンダの試作とサーボ実験(アクチュエータの機構と制御2)

鈴森康一, 神田岳文, 田中淳一

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2004 147 - 147 2004年6月

インテリジェントラバチュエータの開発 : 第1報導電性ゴムセンサの内蔵とサーボ実験(アクチュエータの機構と制御2)

脇元修一, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2004 147 - 147 2004年6月

微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ : 第二報:モータの小型化と特性評価(アクチュエータの機構と制御1)

牧野明, 神田岳文, 鈴森康一, 森田剛, 黒澤実

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2004 106 - 107 2004年6月

フィジカルマンマシンインタラクション用アクティブ多面体の研究 : 第3報:インテリジェント空圧シリンダを用いたアクティブ多面体の開発(ハプティックインタフェース1)

越智淳平, 橋本竜弥, 田中淳一, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2004 10 - 10 2004年6月

高圧油圧アクチュエータを用いたジャッキアップレスキューロボットの研究(レスキューシステム・レスキュー工学4)

高田昌憲, 鈴森康一, 神田岳文, 三宅健史

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2004 123 - 124 2004年6月

フィジカルマンマシンインタラクション用アクティブ多面体の研究 : 第4報:アクティブ二十面体の制御系の構築とヴァーチャルクレイへの応用(変形と力覚1)

橋本竜弥, 越智淳平, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2004 84 - 84 2004年6月

バルク加工による円筒型圧電振動子を用いたマイクロ超音波モータの特性評価

牧野明, 神田岳文, 鈴森康一, 小野智久, 森田剛, 黒沢実

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2004 J07 2004年3月

φ6.5mmマイクロ空圧ワブルモータの開発

都甲良平, 鈴森康一, 神田岳文, 山田嘉昭

自動制御連合講演会講演論文集 46th ( CD-ROM ) TA1-03-1 2003年11月

大腸内視鏡誘導薄肉ゴムチューブアクチュエータに関する基礎研究

浜隆行, 佐藤淳, 神田岳文, 鈴森康一

自動制御連合講演会講演論文集 46th ( CD-ROM ) TA2-03-2 2003年11月

大腸内視鏡誘導空圧インパクトアクチュエータの試作研究

浜隆行, 神田岳文, 鈴森康一

自動制御連合講演会講演論文集 46th ( CD-ROM ) TA2-03-3 2003年11月

221 マイクロアクチュエータ集積によるフィジカルマンションマシンインタラクション

鈴森康一, 神田岳文, 橋本竜弥, 越智淳平

機素潤滑設計部門講演会講演論文集 2003 ( 3 ) 155 - 158 2003年4月

記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

Integrating MEMS and micro devices has a great potential to realize new haptic interfaces, which exchange multi physical data between persons and machines. The authors have developed two types of new haptic interface devices; an active mouse and an active tripod. They realize physical interaction systems between persons and virtual objects in computers or tele-operated robots. This report shows their designs, control systems, and performances.

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1A1-1F-F6 微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ

神田岳文, 小野智久, 鈴森康一, 森田剛, 黒澤実

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2003 11 - 11 2003年

記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

マイクロロボットに用いるサーボモータへの応用を目的として, マイクロ超音波モータの試作・評価を行った。直径0.8mmの円筒形の圧電振動子を用いて片端固定とし, 周波数330kHzでの回転駆動を実現した。

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2A1-2F-B2 マイクロパワーレスキューロボットの開発 : 第 1 報 : 関節ユニットの試作

高田昌憲, 鈴森康一, 神田岳文, 脇元修一

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2003 72 - 72 2003年

記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

小型の油圧アクチュエータを利用することで瓦礫の隙間を掻き分けながら進入するとともに, 必要に応じて瓦礫を持ち上げて空間確保を行うロボットの実現を目標とする。今回(1)首振り(2)伸縮(3)突っ張りの3種の関節を試作した。

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2P1-2F-F8 アクティブマウスを用いたフィジカルマンマシンインタラクション : 第 2 報 : 第 2 号機の試作とフィジカルインタラクションの実現

鈴森康一, 神田岳文, 橋本竜弥, 越智淳平, 脇元修一

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2003 105 - 106 2003年

記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

今までに開発したアクティブマウスを人間に持ちやすいサイズに小型化した。また, 迷路通過問題に適応した。その結果, 人間との物理情報のやりとりをスムーズに行うことができるようになった。

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1A1-2F-E6 フィジカルマンマシンインタラクション用アクティブ多面体の研究第 1 報 : アクティブ四面体の試作とリアルタイムフィジカルインタラクションの実現

越智淳平, 橋本竜弥, 鈴森康一, 神田岳文

ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集 2003 20 - 20 2003年

記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人日本機械学会

双方向で物理情報のやり取りを行なう, インターフェースを試作した。三次空間で力覚および形状を呈示することが可能なアクティブ多面体である。これを, 機構解析ソフトに組み込みりアルタイムで動作することを確認した。

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PZT薄膜を用いた縦振動プローブセンサ ―縦振動子の特性と接触検出分解能の評価― 査読

神田岳文

超音波テクノ 14 ( 1 ) 18 - 22 2002年

水熱法PZT薄膜を用いた加振形プローブセンサ

神田岳文, 森田剛, 黒澤実, 樋口俊郎

電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2000 ( 16 ) 41 - 46 2000年12月

PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第6報) : プローブセンサの測定力と分析

神田岳文, 森田剛, 黒澤実, 樋口俊郎

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2000 ( 2 ) 292 - 292 2000年9月

PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第5報) : プローブセンサを用いた表面形状の測定

神田岳文, 森田剛, 黒澤実, 樋口俊郎

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2000 ( 1 ) 601 - 601 2000年3月

PZT薄膜による縦振動子を用いた振動形プローブセンサ

神田岳文, 森田剛, 黒澤実, 樋口俊郎

電子情報通信学会技術研究報告. US, 超音波 99 ( 132 ) 21 - 28 1999年6月

記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人電子情報通信学会

SPMなどの形状測定装置のプローブとして用いる、振動形プローブセンサを試作した。センサは板状であり、水熱合成法によって成膜したPZT薄膜を加振および振動検出に用いる。また、このセンサでは縦振動を用いている。一般に、縦振動を用いるとたわみ振動を用いた場合に比べて、高い検出感度を得ることができる。振動子の長さは9.8 mm、共振周波数は304.35 kHzであり、3V_<p-p>印加時の共振時振幅は126 nm_<o-p>である。板状の構造の採用、小型化により圧電体の基板に対する割合を高め、感度の向上を図った。測定結果から、垂直方向検出分解能は2.4 nmであった。

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Thin plate longitudinal vibrator touch probe sensor using PZT thin film

MK Kurosawa, T Kanda, T Higuchi, T Morita

1999 IEEE ULTRASONICS SYMPOSIUM PROCEEDINGS, VOLS 1 AND 2 1 703 - 706 1999年

PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第3報) -振動子の小型化, 高周波化-

神田岳文, 森田剛, 黒澤実, 樋口俊郎

精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 ( 2 ) 546 - 546 1998年9月

水熱合成法を用いたPZT薄膜のアクチュエータ・センサへの応用 : マイクロ超音波モータ・加振型接触センサ・補聴器用イヤホン

森田剛, 神田岳文, 保井秀彦, 黒澤実, 樋口俊郎

電子情報通信学会技術研究報告. OME, 有機エレクトロニクス 98 ( 164 ) 31 - 36 1998年7月

記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人電子情報通信学会

水熱合成法は高温高圧のアルカリ条件下の水溶液中でPZT成膜を行うために立体形状基板への成膜が可能であるという利点を持つ。その応用デバイスとして、マイクロ超音波モータ、加振型接触センサ、補聴器用イヤホンの試作を行った。モータは直径1.4mmへの小型化に成功し、最高回転数600rpmであった。加振型接触センサは分解能66nmを実現し、水中での使用の可能性を示した。また、補聴器用イヤホンでは、駆動電圧1.3Vrmsで60dBの音圧発生を測定した。現在単一プロセス水熱合成法にかわる新たな合成プロセスを開発中である。

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PZT薄膜を用いた補聴器用イヤホンの検討

保井秀彦, 黒澤実, 森田剛, 神田岳文, 樋口俊郎

精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 ( 1 ) 602 - 602 1998年3月

PZT薄膜を用いた加振形接触センサ(第2報) -分解能の向上と接触状態の分析-

神田岳文, 森田剛, 黒澤実, 樋口俊郎

精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 ( 2 ) 258 - 258 1997年10月

水熱合成法によるPZT薄膜の応用

森田剛, 神田岳文, 黒澤実, 樋口俊郎

電子情報通信学会技術研究報告. OME, 有機エレクトロニクス 97 ( 151 ) 33 - 38 1997年7月

記述言語：日本語出版者・発行元：一般社団法人電子情報通信学会

水熱合成法によるPZT成膜は, 立体形状基板に成膜が可能であるという大きな利点を持つ. 従来の水熱合成法を改良し, 薄膜の圧電定数を大幅に向上させることができた. この手法を単一プロセス水熱合成法と呼ぶ. この薄膜を用いてマイクロ超音波モータと加振型接触センサを製作した. モータは直径2.4[mm], 長さ10[mm]のステータ振動子を持ち, 発生トルクは7[μNm], 最高回転数は880[rpm]であった. 接触センサは, 共振周波数115kHz, 先端での振動振幅は7.9[nm_<o-p>]であり, 分解能1[μm]で接触の検出を行うことができた.

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PZT薄膜を用いた加振形接触センサ

神田岳文, 森田剛, 黒澤実, 樋口俊郎

精密工学会大会学術講演会講演論文集 1997 ( 1 ) 755 - 756 1997年3月

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